[27p-G9-1~5] MEMSとLSIの融合の実態と今後の展開

[27p-G9-1] ▲MEMSとLSIの融合の実態と今後の展開（30分） (1:30 PM ～ 2:00 PM)

^○後藤康 (日立中研)

キーワード：MEMS、LSI、sensor