[27p-G9-1~5] MEMSとLSIの融合の実態と今後の展開

[27p-G9-5] ▲ＳＰＩＣＥ環境下でのＭＥＭＳ設計（30分） (3:45 PM ～ 4:15 PM)

^○年吉洋¹，小西敏文²，町田克之²，益一哉³ (東大¹，ＮＴＴ－ＡＴ²，東工大³)

キーワード：MEMS、SPICE