[28a-G11-1~9] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[28a-G11-5] 緩衝層がGaN接合特性に与える影響 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○馬万程¹，堀祐臣¹，谷田部然治¹，橋詰保^1,2 (北大量集センター　情報科学研究科¹，JST-CREST²)

キーワード：超格子層、緩衝層、C-V特性