[28a-G19-1~11] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28a-G19-7] 大気圧非平衡プラズマを用いて低温成長したZnO薄膜の電気特性 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○野瀬幸則¹，寺川卓摩¹，中村立¹，吉村武¹，芦田淳¹，上原剛²，藤村紀文¹ (阪府大院工¹，積水化学²)

キーワード：ZnO、Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma、CVD