2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[28a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年3月28日(木) 09:00 〜 12:00 G21 (B5号館 4F-2405)

[28a-G21-3] △Naフラックス法結合成長を用いた2インチGaNウエハの作製 (9:30 AM ~ 9:45 AM)

今西正幸,染野辰也,村上航介,今林弘毅,高澤秀生,轟夕摩,松尾大輔,丸山美帆子,今出完,吉村政志,森勇介 (阪大院工)

キーワード:GaN、Naフラックス、結合成長