[28a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28a-G21-9] △X線マイクロ回折による周期溝加工SiC基板上に成長したAlN厚膜の結晶性評価 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○中村邦彦¹，ディン カン¹，荒内琢士¹，竹内正太郎¹，中村芳明^1,2，三宅秀人³，平松和政³，今井康彦⁴，木村滋⁴，酒井朗¹ (阪大院基礎工¹，PRESTO-JST²，三重大院工³，JASRI/SPring-8⁴)

キーワード：X線回折、AlN、XRD