[28a-G22-1~13] 15.6 IV族系化合物

[28a-G22-11] Al₂O₃/SiC MOS界面における伝導帯端近傍の界面特性 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○田岡紀之，坂下満男，中塚理，財満鎭明 (名大院工)

キーワード：SiC、Interface trap、Slow trap