[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-5] シリコン基板上に作製したPZT薄膜積層アクチュエータ (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○岸本真哉¹，黒川文弥²，神野伊策¹ (神大院工¹，京大院工²)

キーワード：PZT薄膜、積層アクチュエータ、MLCA