[28p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28p-G19-1] 触媒反応で生成した水分子とジメチル亜鉛からのＺｎＯ薄膜形成機構 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○梅本宏信¹，石川卓末¹，西原裕心¹，安井寛治²，西山洋²，井上泰宣²，牛島満³ (静岡大工¹，長岡技科大²，東京エレクトロン³)

キーワード：酸化亜鉛薄膜、気相診断