[28p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28p-G19-11] Mg_xZn_1-xO:N薄膜の光学的特性評価 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○阿部貴美¹，中川玲¹，千葉鉄也¹，中川美智子¹，高橋修三¹，千葉茂樹¹，柏葉安宏²，大坊真洋¹，新倉郁生¹，柏葉安兵衛¹，藤原民也¹，長田洋¹ (岩手大¹，仙台高専²)

キーワード：MgZnO、分光エリプソメトリー