[28p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28p-G19-3] 触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いて堆積したガラス基板上ZnO薄膜へのCVD低温バッファ層挿入効果 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○竹澤和樹¹，小柳貴寛¹，加藤孝弘¹，片桐裕則²，神保和夫²，大石耕一郎²，安井寛治¹ (長岡技科大¹，長岡高専²)

キーワード：酸化亜鉛