[28p-G2-1~16] 13.3 絶縁膜技術

[28p-G2-11] △Al₂O₃/Ge構造の熱酸化による界面構造変化と界面特性との相関関係 (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○柴山茂久¹，加藤公彦^1,2，坂下満男¹，竹内和歌奈¹，田岡紀之¹，中塚理¹，財満鎭明¹ (名大院工¹，学振特別研究員²)

キーワード：Al2O3/Ge、熱酸化、界面特性