2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年3月28日(木) 13:30 〜 18:30 G9 (B5号館 2F-2203)

[28p-G9-11] 異方性ウェットエッチングを利用して作製したチャネル長3 nmの接合レス型トランジスタの動作 (4:30 PM ~ 4:45 PM)

右田真司,森田行則,昌原明植,太田裕之 (産総研-GNC)

キーワード:Junctionless、SOIFET、V-groove