2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年3月28日(木) 13:30 〜 18:30 G9 (B5号館 2F-2203)

[28p-G9-12] Thin-BOX GOI-pMOSFETのバックゲートバイアスによるしきい値変調 (4:45 PM ~ 5:00 PM)

池田圭司1,守山佳彦1,2,小野瑞城1,上牟田雄一1,入沢寿史1,鎌田善己1,酒井朗2,手塚勉1 (産総研GNC1,大阪大院 基礎工2)

キーワード:Ge、MOSFET