PDF ダウンロード スケジュール 0 いいね! 1 [28p-G9-14] 非晶質金属ゲートによるFinFETの特性ばらつき抑制 (5:15 PM ~ 5:30 PM) ○松川貴,柳永勛,水林亘,塚田順一,山内洋美,遠藤和彦,石川由紀,大内真一,太田裕之,右田真司,森田行則,昌原明植 (産総研) キーワード:FinFET、特性ばらつき、非晶質金属