[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-15] フォノン凖弾道輸送効果がFinFETの熱伝導特性に与える影響 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○久木田健太郎¹，インドラ ヌル アディスシロ¹，鎌倉良成^1,2 (阪大院工¹，JST CREST²)

キーワード：FinFET、フォノン、熱伝導