[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-5] ▼質量検出型平面共鳴ナノエレクトロメカニカルセンサー (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○（P）Faezeh Arab Hassani¹，Cecilia Dupre²，Eric Ollier²，Cornel Cobianu³，Silvia Armini⁴，Vladimir Cherman⁴，Adrian Mihai Ionescu⁵，土屋良重⁶，水田博^1,6 (北陸先端大¹，CEA-LETI²，ハネウェル³，IMEC⁴，EPFL⁵，サザンプトン大⁶)

キーワード：Nano-electro-mechanical sensor