[28p-G9-1~18] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[28p-G9-7] Siを金属化させるS原子ペアーの電子構造 (3:15 PM ～ 3:30 PM)

^○加藤弘一，丸亀孝生，西義史，三谷祐一郎 (東芝研開セ)

キーワード：硫黄、ショットキー、バリヤ