[28p-PA3-1~5] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[28p-PA3-1] Si，Ge単結晶におけるボイド欠陥形成に関する分子動力学計算 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M1）大田周作，末岡浩治 (岡山県大情報工)

キーワード：原子空孔、シリコン単結晶、MD法