[29a-B5-1~11] 1.9 超音波

[29a-B5-2] △c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○加藤善也¹，柳谷隆彦²，高柳真司¹，今村功祐¹，松川真美¹ (同志社大¹，名工大²)

キーワード：Rayleigh SAW、ZnO薄膜、弾性表面波