2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

22.合同セッションL » 22.1 合同セッションL「MEMS,NEMSの基礎と応用:異種機能集積化」

[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL(MEMS,NEMSの基礎と応用:異種機能集積化)

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G7 (B5号館 2F-2201)

[29a-G7-8] ▲Analysis of Microbolometer Operation by Electro-thermal Circuit Simulation (11:00 AM ~ 11:15 AM)

Ajay Tiwari,佐藤弘明,青木誠,武田正典,廣本宣久,猪川洋 (静岡大)

キーワード:ボロメータ、電気的熱的シミュレーション