2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

2013年3月29日(金) 13:30 〜 18:45 B1 (K2号館 3F-1301)

[29p-B1-4] 電圧印加ガラスインプリントによる微細構造形成 (2:15 PM ~ 2:30 PM)

○(B)生田目直季1,池田弘1,酒井大輔2,原田建治2,西井準治1 (北大1,北見工大2)

キーワード:glass、imprint、electrostatic