[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-3] 高空間分解能SIMS用クラスターイオン源の開発 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○鳥居聡太¹，瀬木利夫^1,2，青木学聡^1,2，松尾二郎^1,2 (京大工¹，JST-CREST²)

キーワード：集束、SIMS