[29p-B2-8] Soft-sputtering of insulin film with noble gases and methane gas cluster ion beams
Keywords:ガスクラスターイオンビーム、TOF-SIMS
Regular sessions(Oral presentation)
07. Beam Technology and Nanofabrication » 7.6 Ion beams
Fri. Mar 29, 2013 1:30 PM - 6:15 PM B2 (K2 3F-1302)
Keywords:ガスクラスターイオンビーム、TOF-SIMS