[29p-G12-1~21] 17.1 成長技術

[29p-G12-17] パルスアークプラズマ蒸着によるCo/Si(111)基板上グラフェン成長 (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○水野正也，伴野和也，藤田和久，江川孝志 (名工大)

キーワード：graphene、成長、パルスアークプラズマ