[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-9] Si結晶中のドーパント-点欠陥複合体と金属原子の相互作用に関する第一原理計算 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○（M2）岩崎剛士¹，末岡浩治¹，小町潤²，嵯峨幸一郎² (岡山県立大¹，ソニー²)

キーワード：点欠陥、ゲッタリング、第一原理計算