2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

2013年3月29日(金) 13:00 〜 18:00 G7 (B5号館 2F-2201)

[29p-G7-2] BaSi2エピタキシャル膜におけるⅤ族元素拡散係数の評価 (1:15 PM ~ 1:30 PM)

章寧1,中村航太郎1,馬場正和1,M.ajmal Khan1,Weijie Du1,小池信太郎1,高部涼太1,都甲薫1,末益崇1,2 (筑波大院 数 電物1,JST-CREST2)

キーワード:拡散係数