[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-4] アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○加賀谷賢¹，小西敏文²，山根大輔¹，本橋剛¹，松島隆明²，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²，東大³)

キーワード：CMOS-MEMS、加速度センサ