[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-5] アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの設計 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小西敏文¹，山根大輔²，本橋剛²，加賀谷賢²，松島隆明¹，伊藤浩之²，石原昇²，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉² (ＮＴＴ－ＡＴ¹，東工大²，東大³)

キーワード：MEMS、加速度センサ、シミュレーション