[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-6] アレイ型MEMS加速度センサの検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○山根大輔¹，小西敏文²，松島隆明²，本橋剛¹，加賀谷賢¹，伊藤裕之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTTアドバンストテクノロジ²，東大³)

キーワード：MEMS、アレイ、加速度センサ