[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-12] InGaAs MOSゲートスタック電気特性に与えるメタルゲート電極の影響 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M2）張志宇¹，横山正史¹，金相賢¹，市川磨²，長田剛規²，秦雅彦²，竹中充¹，高木信一¹ (東大院工¹，住友化学²)

キーワード：ゲートスタック、InGaAs、メタルゲート電極