PDF ダウンロード スケジュール 1 いいね! 2 [29p-PB1-2] 欠陥を有するSiN膜中への水分子・ハロゲン化水素分子の透過 (1:30 PM ~ 3:30 PM) ○奥友希,志賀俊彦,戸塚政裕,竹見政義 (三菱電機) キーワード:シリコン窒化膜、耐湿性、ハロゲン化水素