[29p-PB1-1~20] 13.3 絶縁膜技術

[29p-PB1-5] Si0₂膜中における捕獲電荷のデトラップ評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M1）滝ヶ浦佑介¹，蓮沼隆²，山部紀久夫³ (筑波大電物¹，筑波大電物²，筑波大電物³)

キーワード：デトラップ、捕獲電荷