[30a-B1-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[30a-B1-4] 電子回折図形に基づく新規位相イメージング法の開発と半導体p-n接合界面の可視化 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○山崎順¹，太田圭祐²，森下茂幸²，佐々木宏和³，田中信夫¹ (名大エコ研¹，名大工²，古河電工³)

キーワード：回折顕微法、位相イメージング、p-n接合