[30a-B1-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[30a-B1-9] 電子ビーム照射を受けた絶縁体薄膜の放電特性 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○（B）熊谷健太朗，大谷優，小原康寛，小寺正敏 (大工大)

キーワード：電子ビーム