[30a-B3-1~12] 5.3 Optical Control

[30a-B3-1] High Performance Silicon Photonics Devices Fabricated by Back-End of Line Compatible Process

^○Ryohei Takei^1,2, Masao Suzuki^1,2, Emiko Omoda^1,2, Syoko Manako^1,2, Toshihiro Kamei^1,2, Masahiko Mori^1,2, Youichi Sakakibara^1,2 (AIST¹, PECST²)

Keywords:バックエンドプロセス、シリコンフォトニクス、スポットサイズ変換器