[30a-F2-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[30a-F2-4] プラズマアシスト蒸着法を用いたモリブデン酸化物薄膜の形成 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○多田昂介，斉藤由希恵，一戸隆久 (東京高専)

キーワード：モリブデン酸化物、モリブデン酸化物