09:45 〜 10:00
△ [17a-A27-4] 超高次非線形誘電率顕微鏡法を用いた実動作中SiC-DMOSFETの断面観察
キーワード：SiC,SNDM
講演情報
一般セッション(口頭講演)
コードシェアセッション » 14.3電子デバイス・プロセス技術，15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション
[17a-A27-1~11] 14.3電子デバイス・プロセス技術，15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション
2014年9月17日(水) 09:00 〜 12:00 A27 (N302)