[17p-A10-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [17p-A10-7] LaGaO₃エピタキシャル薄膜の成長と深紫外カソードルミネッセンス特性評価

^○向井章¹，大島孝仁¹，吉松公平¹，藤井俊輔²，須山敏尚²，大友明^1,3 (東工大院理工¹，トクヤマ²，東工大元素戦略³)

キーワード：LaGaO3,カソードルミネッセンス,深紫外発光