2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » X線反射率,表面X線散乱による埋もれた界面の解析における位相問題 - 新光源への期待

[17p-A13-1~6] X線反射率,表面X線散乱による埋もれた界面の解析における位相問題 - 新光源への期待

2014年9月17日(水) 13:45 〜 16:30 A13 (E304)

14:00 〜 14:15

[17p-A13-2] Tomographic Micro-Imaging of Buried Layers and Interfaces with 15W X-ray Power Source

〇(D)Jinxing Jiang1,2,Kenji Sakurai1,2 (University of Tsukuba1, National Institute for Materials Science2)

キーワード:X-ray reflection, Tomography, Buried layers and interface, Imaging