[17p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

[17p-A16-8] Tunnel FETの短チャネル効果の検討

^○福田浩一，森貴洋，水林亘，森田行則，昌原明植，安田哲二，右田真司，太田裕之 (産総研)

キーワード：tunnel FET,device simulation,short channel effects