[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-10] n形3C-SiCへのゲートスタックの低温形成

^○山本裕介¹，村山亮介¹，山本圭介²，王冬¹，中島寛²，菱木繁臣³，川村啓介³ (九大総合理工学府¹，九大産学連携センター²，エア･ウォーター研究所³)

キーワード：半導体