[17p-A17-1~14] 15.6 IV族系化合物

[17p-A17-8] NF3添加酸化でC面上に作製した4H-SiC MOSの界面特性

^○花里耕平，蓮沼隆，山部紀久夫 (筑波大)

キーワード：SiC,熱酸化