2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)

16:45 〜 17:00

[17p-A19-9] 高性能フレキシブルエレクトロニクス創成に向けた金誘起層交換成長法によるSiGe混晶の極低温成長と方位制御

朴ジョンヒョク1,2,宮尾正信1,佐道泰造1 (九大シス情1,学振特別研究員2)

キーワード:SiGe