[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-A8-17] AlN/ (111)面ダイヤモンドヘテロ接合界面の微細構造観察と電気的特性評価

^○井村将隆¹，劉江偉¹，廖梅勇¹，小出康夫¹，松元隆夫²，柴田直哉²，幾原雄一² (物材機構¹，東大²)

キーワード：ダイヤモンド,窒化アルミニウム