[17p-A8-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-A8-8] オフ角の異なる(001)面リンドープダイヤモンド薄膜のX線光電子分光法による表面結合状態の評価

^○（D）川島宏幸^1,2,3，加藤宙光^2,3，竹内大輔^2,3，山崎聡^1,2,3 (筑波大¹，産総研²，JST/CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,XPS,オフ角