[17p-C5-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-C5-15] 反応性パルスDCスパッタ法により作製したAlN膜の表面構造および結晶性に及ぼすスパッタ圧力の影響

^○（M1）竹内洋仁，大塚誠，福山博之 (東北大多元研)

キーワード：AlN,スパッタ