[17p-C5-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-C5-9] AlNのHVPE高温ホモエピタキシャル成長における基板昇降温時表面劣化の原因

^○東城俊介¹，田中凌平¹，額賀俊成¹，富樫理恵¹，永島徹²，木下亨²，Baxter Moody³，村上尚¹，Ramon Collazo⁴，熊谷義直¹，Zlatko Sitar^3,4 (農工大院工¹，トクヤマ²，HexaTech, Inc.³，North Carolina State University⁴)

キーワード：AlN,HVPE