[17p-C6-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[17p-C6-2] 金ナノ粒子高密度配列による高感度SOIフォトダイオードの開発

^○小野篤史^1,2，榎本靖³，松村康史³，佐藤弘明^1,2，猪川洋^1,2 (静大電研¹，静大院工²，新日鉄住金化学³)

キーワード：半導体,シリコン,光検出器