[17p-S2-35~43] 10.3 GMR・TMR・磁気記録技術

[17p-S2-36] CoFeBセンシング層を適用したセンサ用磁気トンネル接合における磁気特性のMgOキャップ層膜厚依存性

^○津嵜陽亮，長永隆志，古川泰助，吉田親子，山崎裕一，青木正樹，射場義久，高橋厚，角田浩司，中林正明，能代英之，畑田明良，吉田幸久，佐竹徹也，杉井寿博 (超低電圧デバイス技術研究組合)

キーワード：磁気トンネル接合,磁気センサー,MgOキャップ層